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采用CO2激光直写烧蚀加工技术在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片表面加工微通道,分析了CO2激光输出功率和激光束移动速度对加工质量的影响。选用4.5W输山功率和76.2mm移动速度,在30s内加工了水力直径为100μm的微通道。在进行微通道的大批量、快速加工时,CO2激光直写烧蚀加工技术具有较高的工艺稳定性,工艺流程简单,可随时根据实验需要对微通道结构进行调整和再加工。微通道的激光拉曼光谱与PMMA基片相同,保证了微通道和盖片对聚合酶链式反应(PCR)物化学影响的一致性。虽然徽通道边缘存在少量重铸物。但不会影响热压键合效果,芯片能够满足PCR扩增中的压力与密封要求。使用这种芯片实现了180bp...
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中国激光
Year： 2009
Issue： 05
Volume： 36
Page： 1239-1245
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