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采用传统的精密机械研磨方法,对钽钨铪合金进行了精密研磨实验研究。通过大量实验,优化出了适合此类材料的研磨工艺,得到Ra25nm左右的光滑表面。该研磨方法成本低、污染小、操作简便。实验表明,磨料特性、研磨压力和研磨液的成分配比等参数对研磨效果的影响较大。
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Source ：
机械设计与制造
Year： 2008
Issue： 06
Page： 118-119
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