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采用脉冲激光沉积技术,在不同沉积温度下制备了氧化锌薄膜.对衬底温度为400和700℃的薄膜进行了结构和光谱学性能表征.结果表明:沉积温度为400和700℃时,氧化锌薄膜均为C轴取向生长;但是表面晶粒生长模式由岛状生长转为柱状晶生长,柱状晶的出现导致了氧化锌薄膜拉曼光谱信号的增强、谱线的展宽、以及拉曼禁戒模式的出现;氧化锌UV峰由3.29 eV红移到3.27 eV,这可能是由于沉积温度为700℃时,氧化锌颗粒尺寸显著增大造成的.
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光散射学报
ISSN： 1004-5929
Year： 2007
Issue： 4
Volume： 19
Page： 342-346
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