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张万荣 (张万荣.) | 沙永萍 (沙永萍.) | 谢红云 (谢红云.) | 刘颖 (刘颖.) | 张静 (张静.) | 张正元 (张正元.) | 刘伦才 (刘伦才.) | 刘道广 (刘道广.) | 王健安 (王健安.) | 徐学良 (徐学良.) | 陈光炳 (陈光炳.)

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Abstract:

从实验上研究了版图尺寸对Si/SiGe HBT高频噪声特性的影响.结果表明,在现有工艺条件下,减少外基区电阻(即减少发射极与基区间距),对降低高频噪声很显著.增加基极条数、增加条长也可减少基极电阻,降低高频噪声.发射极条宽从2μm减少为1μm,对噪声的改善很有限.对1μm或2μm条宽,40μm条长的5个基极条或9个基极条的SiGe HBT,在片测试表明,频率从0.4 GHz增加到1.2 GHz,噪声系数在2.5~4.6 dB之间变化.

Keyword:

SiGe/Si 异质结晶体管 高频噪声

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Source :

微电子学

ISSN: 1004-3365

Year: 2006

Issue: 5

Volume: 36

Page: 598-600

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