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采用准分子激光微加工技术在PMMA表面加工出了微混合器芯片.实验结果表明,采用准分子激光微加工技术可以加工出尺寸基本符合要求的、连续的、表面光洁度高和边界整齐的微通道,可以加工出结构复杂的微流控芯片.
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Source ：
高等学校化学学报
ISSN： 0251-0790
Year： 2004
Issue： z1
Volume： 25
Page： 37-38
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JCR@2022
ESI Discipline： CHEMISTRY;
JCR Journal Grade：3
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