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介绍了一种基于 MEMS技术的微型电磁继电器的制作过程和仿真分析 .这种微继电器的大小约是 4 m m×4 m m× 0 .5 m m,主要采用普通的微加工技术来完成全部制作工艺 .与传统继电器相比 ,这种继电器采用平面线圈来代替螺线管线圈 ,有利于 MEMS工艺 ,并且提出了一种双支撑的悬臂梁结构做为活动电极 ,具有较高的灵敏性和稳定性 .另外 ,还进行了一些有关线圈通过激励电流后对活动电极产生电磁力的理论计算和仿真分析 ,利用这些结果可以对这种电磁继电器的结构和参数进一步优化
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半导体学报
Year： 2002
Issue： 12
Page： 1298-1302
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