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介绍一种基于MEMS技术的微型电磁继电器的制造工艺和仿真过程.这种微继电器主要由平面方形线圈、固定电极和活动电极构成,依靠线圈的激励电流来控制其开关动作.微继电器的大小约是4mm×4mm×0.5mm,工艺比较简单,主要采用光刻、蒸镀、电镀和腐蚀牺牲层等普通的微加工技术来完成.另外,还进行了有关激励线圈对活动电极所产生电磁力的理论计算和仿真,以便从这些结果中得到活动电极和线圈之间的优化数据.
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微细加工技术
ISSN： 1003-8213
Year： 2002
Issue： 3
Page： 60-64
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