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李德胜 (李德胜.) (Scholars:李德胜) | 张宇峰 (张宇峰.) | 李浩群 (李浩群.)

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CQVIP PKU CSCD

Abstract:

为了电磁继电器的微型化和提高生产效率,基于微机电系统(MEMS)加工技术提出并试制出一种微机械电磁继电器.这种微继电器由底层磁路、平面励磁线圈和活动电极(衔铁)构成比较完整的磁路,依靠励磁线圈的电流来控制其开关动作,微继电器体积约为5 mm×5 mm×0.4 mm,其制作工艺主要采用光刻、溅射、电镀和腐蚀牺牲层等常规微加工工艺;同时,利用磁路模型进行了电磁力的理论计算,利用其结果对活动电极尺寸和励磁线圈匝数进行了优化设计,给出了试制的微继电器样品的初步测试结果,励磁线圈阻抗约300 Ω,触点导通阻抗约1.7 Ω,励磁电流约50 mA时可使继电器可靠吸合.

Keyword:

微机电系统(MEMS) 微机械电磁继电器 磁路模型 微加工

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  • [ 1 ] [李德胜]北京工业大学
  • [ 2 ] [张宇峰]哈尔滨工业大学
  • [ 3 ] [李浩群]北京工业大学

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Source :

北京工业大学学报

ISSN: 0254-0037

Year: 2004

Issue: 2

Volume: 30

Page: 148-150,155

Cited Count:

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30 Days PV: 4

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