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Abstract：
为了提高CVD钨的强度和韧性,采用自制化学气相沉积装置,以WF6和H2为反应气体,在化学气相沉积钨过程中周期性地在基体上缠绕钨丝,沉积制备了钨丝- CVD钨复合材料.使用金相显微镜和扫描电镜(SEM)分别对沉积制备的钨丝-CVD钨复合材料涂层的显微组织和断口形貌进行观察和分析,使用X射线衍射仪(XRD)、电子能谱仪、密度测量仪、显微硬度仪和万能材料试验机分别测试分析了涂层的结构、成分、密度、显微硬度及压溃强度.结果表明:与不缠钨丝的CVD钨管相比,缠绕钨丝的CVD钨管中CVD钨晶粒得到了细化,择优取向基本消失；钨丝-CVD钨复合材料涂层具有较高纯度和致密度；钨丝-CVD钨管的压溃强度显著提高,断口形貌发生了明显的变化.
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Source ：
中国表面工程
ISSN： 1007-9289
Year： 2012
Issue： 3
Volume： 25
Page： 63-67
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