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采用化学气相沉积的方法,以WF6和H2为原料,通过气相反应成功地沉积出多种异型致密钨制品。实验结果表明:沉积层显微组织呈柱晶沿(200)晶面择向生长,具有高纯度(＞99.8%),高致密度(＞19.2 g/cm3),沉积速度可达2~3 mm/h.采用化学气相沉积法制备钨制品,设备简单,工艺稳定可靠,且制品质量较高,特别适合于异型制品的制备,是一种具有广泛应用前景的钨制品制备方法。
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Source ：
兵工学报
Year： 2006
Issue： 02
Page： 315-319
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