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对在准分子激光微加工配套系统研制开发及微结构加工工艺研究的实际工作中碰到的准分子激光光束质量指标进行了详细分析，采用一整套光束诊断技术对Lambda Physik LPX 305iF型激光器进行测试评价。
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应用激光
ISSN： 1000-372X
Year： 2001
Issue： 3
Volume： 21
Page： 147-150
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