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激光具有能量高、易操作、可控性好、以及非接触辐照加热不易引入污染等特点，激光辐照单晶硅可以对其表面进行改性并形成微结构.本文介绍了一种表面增强拉曼光谱(SERS)单晶硅基底的快速制备方法，采用这种方法可以通过皮秒激光扫描覆盖有介电微球的单晶硅表面，以及快速化学腐蚀(10 wt.％NaOH溶液，刻蚀时间小于30 s)在单晶硅表面制备具有较好周期性及均一性的微结构阵列.
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Year： 2015
Page： 1-1
Language： Chinese
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