Indexed by：
Abstract：
提出了金属-半导体欧姆接触退化的快速评估方法--温度斜坡快速评价法,并建立了自动评估系统,用该方法和系统测得的欧姆接触退化激活能,和传统方法相比,耗时少,所需样品少,所得结果和传统方法一致.针对传统AuGeNi/Au欧姆接触系统的缺点,提出了加TiN扩散阻挡层的新型欧姆接触系统.实验表明新型欧姆接触系统的可靠性远远优于传统AuGeNi/Au欧姆接触系统.
Keyword：
Reprint Author's Address：
Email：
Source ：
半导体学报
ISSN： 0253-4177
Year： 2000
Issue： 6
Volume： 21
Page： 608-613
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count： 8
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 9
Affiliated Colleges：
